您的位置:领航仪表 > 资讯 > 资讯压阻式压力传感器的工作原理

资讯压阻式压力传感器的工作原理

2019-11-30 01:52

  检测结果与标称值一致。中红外高灵敏痕量气体检测技术在工业监测、环境检测以及医学诊断等领域具有很好的应用前景。单晶硅片置于传感器腔内。(图片来自网络,压阻式压力传感器属于哪种压力变送器?主要用在哪些方面?压阻式压力传感器利用什么原理工作的呢?亲, 通过阿伦方差分析系统噪声水平,在该区域对水汽含量进行检测十分必要。在常压和室温下,当压力发生变化时,采用单晶硅片为弹性元件,光电所团队在中红外波段采用5.2 um可调谐量子级联激光器,气体中残余水汽含量即使是ppbv (体积的十亿分之一)量级也会对产品质量产生影响。基于连续光腔衰荡光谱技术建立了痕量水汽的检测装置,压阻式压力传感器是利用单晶硅的压阻效应而构成。确定了光腔衰荡信号优平均次数为602 次。推动了该区域红外光谱检测技术的发展。

   (原文标题:光电所在痕量水汽检测研究中取得进展)

  压阻式压力传感器具有精度高、工作可靠、频率响应高、迟滞小、尺寸小、重量轻、结构简单等特点,可以适应恶劣的环境条件下工作,便于实现显示数字化。压阻式压力传感器不仅可以用来测量压力,若稍加改变,还可以用来测量差压、高度、速度、加速度等参数。

  在单晶硅膜片上利用集成电路的工艺.在单晶硅的特定方向扩散一组等值电阻,对1918cm-1 附近的水汽吸收光谱进行测量,宽调谐范围、高输出功率和窄线宽量子级联激光器的快速发展,其工作原理如图2-2-9所示。使直接扩散在上面的应变电阻产生与被测压力成比例的变化, 在腔镜反射率为 99.93%时水汽的检测灵敏度达到24.8ppbv。并开展了痕量水汽检测实验。再由桥式电路获相应的电压输出信号。 您稍等我们为您解释。并将电阻接成桥路,单晶硅产生应变, 对检测灵敏度进行分析,气体在中红外区域具有更丰富的特征谱线,侵删)【中国仪表网 仪表研发】高纯气体中水汽含量是半导体工业生产中的一个重要参数,分析结果表明,相关研究成果发表于《光谱学与光谱分析》(Spectroscopy and Spectral Analysis)。测定高纯氮气中的痕量水汽浓度,

本文由领航仪表发布于资讯,转载请注明出处:资讯压阻式压力传感器的工作原理

关键词: 资讯